什么是纳米光刻

什么是纳米材料？纳米材料有哪些主要的特性？ 光刻和刻蚀的目的是什么？ 解释扫描投影光刻机是怎样工作的？扫描投影光刻机努力解决什么问题？ 纳米是什么（） 纳米技术是指加工尺度达到纳米级的制造技术，请问纳米技术的英文是什么？（） 什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？ 光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处？ 您认为纳米是什么（） 固体脂质纳米粒系指以什么为骨架材料制成的纳米粒 负性和正性光刻胶有什么区别和特点？ 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？ 光刻中影响甩胶后光刻胶膜厚的因素有（）、（）、（）、（）。 光学光刻中影响图像质量的两个重要参数是什么？ 在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么？ 光刻技术 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案 数字投影微光刻技术相较于传统平面光刻的优势为 （名词解析） 光刻 根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？