离子注入机是把中性原子电离后,引出离子束,用电磁场加速和聚焦,形成一定能量和脉冲宽度带电离子束的装置。()

离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。 GC-MS质量分析器是利用电磁或磁场（包括磁场、磁场与电场组合、高频电场和高频脉冲电场等）的作用，将来自离子源的离子束中不同XXXX的离子按XXXX或XXXX或运动轨道稳定与否等形式分离的装置 半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的（）。 离子注入后为什么要进行退火？ 重离子束有哪些重要特点？ 早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。 简述便携式等离子束发生器等离子束流偏斜原因及排除方法？ 中国大学MOOC: 离子注入最主要的缺点是（）。 简述便携式等离子束发生器等离子束出现绿色荫蔽原因及排除方法？ 中国大学MOOC: 离子注入过程中的沟道效应是指离子注入过程中始终没有与原子核发生碰撞，而是沿晶格间隙“长驱直入”，进入硅片内部相当深的地方。 什么叫离子注入，它的特点是什么？ 离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。 离子交换树脂能导电是因为它能在水中电离出离子（） 例举离子注入设备的5个主要子系统。 半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。 离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。 激光加工与离子束加工要求有真空装置。 解释离子束扩展和空间电荷中和。 离子束加工为什么能实现纳米级加工？ 等离子切割器喷（木仓）所形成的等离子束的温度可达到℃（）