例举离子注入设备的5个主要子系统。

离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。 中国大学MOOC: 离子注入最主要的缺点是（）。 为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。 离子注入后为什么要进行退火？ Linux内核主要子系统包括（） Linux内核主要子系统不包括（） 早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。 什么叫离子注入，它的特点是什么？ 离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么？ 四号线信号系统采用__，由五个个主要子系统组成：__、__、__、数据传输子系统及维护支持子系统（） 凝思操作系统内核主要子系统不包括（） 安全技术防范的主要子系统有哪些。 生产信息系统的几个主要子系统是什么？ 对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。 离子注入是借其（）强行进入靶材料中的一个（）物理过程。 企业物流信息系统中的主要子系统有哪些？ 什么是离子注入的横向效应？同等能量注入时，As和B哪种横向效应更大？为什么？ 目前，微型计算机系统的主要子系统包括___。 CRH1从电气上划分，其LCM具有三个主要子系统（） 离子注入前一般需要先生长氧化层，其目的是什么？