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离子注入的主要气体源中,易燃、易爆的有()。
多选题
离子注入的主要气体源中,易燃、易爆的有()。
A. 砷化氢
B. 二硼化氢
C. 三氟化硼
D. 硅烷
E. 氧气
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乙炔是易燃易爆气体
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