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对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。
多选题
对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。
A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量
E. 注入离子的总剂量
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