光刻工艺包括哪些工艺？

光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。 中国大学MOOC: 在光刻工艺中，前烘的主要目的是（）。 超大规模集成电路需要光刻工艺具备的要求有（）。 光刻工艺是利用感光胶感光后抗腐蚀的特性在半导体晶片表面的掩膜层上的工艺（） 雕刻工艺可以在哪些材料上进行？（ ） 谈谈水晶雕刻工艺步骤？ 简述激光雕刻工艺工程。 中国大学MOOC: 光刻工艺中的分辨率是指能精确转移到晶片表面抗蚀剂上图案的最小尺寸。 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案。 试分析4次光刻中第2次光刻的工艺方案 简述4次光刻的工艺流程。 简述5次光刻的工艺流程。 简述4次光刻的工艺流程 简述5次光刻的工艺流程 简述激光雕刻工艺中腐蚀的原理。 雕刻工艺中，哪种工具常用于精细雕刻？（ ） 光刻的主要工艺流程按照操作顺序是（）。 雕刻技法可分为___________ 、___________ 和___________ 。雕刻工艺有 ___________ 、 ___________ 、__________ 、____________ 几大类。 试根据5次光刻的工艺流程绘制等效电路。 电子产品制造工艺包括哪些工艺？