补偿文件是使用激光干涉仪检测三坐标测量机的误差后生成的文件（）

激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 三坐标测量机（）阿贝误差。 三坐标测量机阿贝误差（） 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量（） ( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。 坐标测量机使用光栅、磁栅、感应同步器和激光作为检测元件。 坐标测量机使用光栅、磁栅、感应同步器和激光作为检测元件（） （）激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。 激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 激光干涉仪位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等（） 激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量的仪器 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 工具激光干涉仪有两种（） 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） ML10型激光干涉仪可以实现其（）