( )激光干涉仪是以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉计数原理进行精密测量。

激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（） 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和()3部分。 激光干涉仪的测量长度为（）。 激光干涉仪的最大测量长度为（）。 工具激光干涉仪有两种（） 激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪的最大测量长度为（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 单频激光干涉仪的测量原理是（） ML10型激光干涉仪可以实现其（） 激光干涉仪可用于等几何精度的检测（） 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度） 双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 下列不属于激光干涉仪测量的内容的是（） 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 数控机床位置精度的检查必须使用激光干涉仪（） 在设备修理中，可用激光干涉仪测量工作台移动的（）。 激光干涉仪：激光是平面波，其光束发散角极小，几乎相当于一束平行光，激光的单色性好，（），所以用激光干涉法可进行长距离的测量。