雷尼绍ＭＬ10型激光干涉仪为机床检定提供了一种高精度仪器，它精度高，测量范围大（线性测长40ｍ，任选80ｍ），测量速度快，分辨率高达（）

用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分（） 激光干涉仪位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等（） 光栅传感器的测量精度高于激光干涉仪 激光干涉仪主要用于测量数控机床的哪些项？ 激光干涉仪的测量长度为（）。 用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和()3部分。 激光干涉仪是利用干涉原理和激光的（）进行测量的。 用激光干涉仪检测线性轴的位置精度允差，字母A代表双向定位精度（） 激光干涉仪的最大测量长度为（） 激光干涉仪的最大测量长度为（）。 激光干涉仪最高工作速度是（） 激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。 单频激光干涉仪的测量原理是（） 激光干涉仪不属于自准直光学量仪 （）双频激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位 经纬仪在机床几何精度检查中是一种高精度的测量仪器（） 经纬仪在机床（）检查中是一种高精度的测量仪器 双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 电子水平仪是一种（）的高精度水平仪。 激光干涉仪是利用迈克尔逊干涉原理进行测量的（）