简述旋涂稳定的控制

旋涂机手臂不动作如何处理？ 旋涂机手臂不动作如何处理 在调整旋涂时，怎样提高头部OD？ 旋涂机手臂抓不住盘片如何处理？ 7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？ 当碟片出现旋涂不良时应怎样处置？ 在调整旋涂时，怎样提高头部OD 当碟片出现旋涂不良时应怎样处置 7.0旋涂碗电机不转有哪些原因 6.0线在存储旋涂参数时应注意什么？ 6.0线在存储旋涂参数时应注意什么 如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化？ 如果旋涂室内温度升高，湿度不变，OD会如何变化？ 四个旋涂碗都不下料，怎么办？ 8.0旋涂不向缓冲站放片，应先检查什么？ 如果旋涂室内湿度升高，温度不变，OD会如何变化 四个旋涂碗都不下料，怎么办 8.0旋涂不向缓冲站放片，应先检查什么 如果旋涂室内温度升高，湿度不变，OD会如何变化 在调整旋涂时，请简单说明如何降低尾部OD？