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铜互连金属多层布线中,磨料的粒径一般为()。
单选题
铜互连金属多层布线中,磨料的粒径一般为()。
A. 5~10nm
B. 20~30nm
C. 50~80nm
D. 100~200nm
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铜属较贵重金属,一般用在要求较高的动力线路中和电气设备的控制线路中()
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