纳米加工中,激光干涉测量可以达到纳米级的测量分辨率和重复精度,可以满足测量要求,而 X 射线干涉测量法重生精度不足,不满足测量要求。

双频激光干涉仪的最小分辨率为μ（） 为了观察到纳米级的微小结构，需要用到分辨率比光学显微镜更高的电子显微镜，下列说法中正确的是（）   双频激光干涉仪的最小分辨率为（）m 用直线光栅测量直线位移时，测量范围可达二三十米，而分辨率可达到微米级（） 测定纳米级的粒子大小的常用方法是 测定纳米级的粒子大小的常用方法是（ ）。 纳米级的陶瓷具有很好的韧性和延展性。 纳米级的陶瓷具有很好的韧性和延展性（） 纳米级加工的物理实验就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。 牙釉质是由纳米级的生物陶瓷材料组成。 从学科角度层面上划分，纳米科学技术主要包括纳米（体系）物理学、（）、（）、（）、纳米电子学、纳米加工与测量学、纳米力学等7个既相对独立又相互渗透的学科。 数字位置测量系统的精度值与其分辨率相比，精度值()分辨率。 雷达液位计没有测量盲区，精度可以很高，液位测量分辨率一般可达（） 用干涉法测量出光栅衍射波振面的相位来确定分辨率，测得的结果存在（） 病毒的测量单位是纳米（） 以天然或合成高分子物质为载体制成的纳米级粒子（）。 可延性纳米级磨削—用于量块、光学平晶，集成电路的硅基片。（） 以天然或合成高分子物质为载体制成的纳米级粒子（）。 激光干涉仪是利用干涉原理和激光的（）进行测量的。 目前光通信中常用的激光波长为纳米和纳米（）