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在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。
单选题
在新一代的CMP中,有使用()磨料在金属表面上形成软质皮膜并加以去除的趋势。
A. 二氧化锰
B. 铝
C. 氧化铬
D. 金刚石
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