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微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。
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微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。
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试分析背沟道刻蚀型的5次光刻中过孔的工艺难点。
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()是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法,是当代毫微米加工(纳米加工)技术的基础。
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选出句子排序正确的一项()[1]辐照加工技术具有许多传统加工工艺无法比拟的优点[2]早期的辐照加工,是利用射线的杀菌灭虫性能来达到消毒、保鲜等目的[3]本世纪50年代发展起来的辐照加工技术,是继上述四大加工技术之后,正在崛起并逐渐成熟的一种加工工艺技术[4]现代的辐照加工技术已突破上述范围[5]众所周知,机械加工、热加工、电加工和化学加工,是通用的材料加工技术
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