简述开环、闭环、半闭环数控系统的概念。

闭环系统比开环系统及半闭环系统（） 在开环、半闭环、闭环系统中，闭环系统的精度最低。() 什么是开环、闭环、半闭环伺服系统数控机床？它们之间有什么区别？ 数控机床按有无检测装置可分为开环、半闭环、全闭环控制系统的数控机床。() 比较开环、半闭环、闭环系统的优缺点。 按数控系统的控制方式分类，数控机床分为：开环控制数控机床、（）、闭环控制数控机床。 闭环控制系统比开环及半闭环系统（）。 闭环控制系统比开环及半闭环系统（） 数控机床按系统可分为开环控制系统、半闭环控制系统和闭环控制系统（） 步进电动机在半闭环数控系统中获得广泛应用。 半闭环数控系统中，反馈信号全部取自机床的最终运动部件（） 闭环系统比开环、半闭环系统的故障率低。 （）方式分类，数控机床分为：开环控制数控机床、半闭环控制数控机床、闭环控制数控机床。 在FANUC 15数控系统中，对进给电机实现全闭环或半闭环控制的功能模块是（） 半闭环数控系统的测量装置一般为光栅，磁尺等。 （）半闭环数控系统采用角位移检测装置和滚珠丝杠作为检测基准 数控机床按伺服系统的控制方式可分为半闭环控制数控机床、闭环控制数控机床、开环控制数控机床 计伺服系统可分为开环、闭环和半闭环伺服系统，其中()主要用于精密、大型数控设备上。 半闭环控制的数控系统的反馈检测元件一般安装在（） 半闭环控制数控系统的比较方便，并且具有很好的稳定性（）