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打开气室工作前,应先将SF6气体回收并抽真空后,用高纯氮气冲洗次()
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打开气室工作前,应先将SF6气体回收并抽真空后,用高纯氮气冲洗次()
A. 3
B. 4
C. 5
D. 6
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