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油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
多选题
油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
A. 防止扩散油分子回流到真空室
B. 加快排氣速度
C. 防止杂物掉入扩散泵
D. 提高膜层附着力
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