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微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。
多选题
微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。
A. 台阶仪
B. 干涉显微镜
C. 光切显微镜
D. 扫描电镜
E. 椭偏仪
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