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在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
单选题
在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
A. 单晶硅刻蚀
B. 多晶硅刻蚀
C. 二氧化硅刻蚀
D. 氮化硅刻蚀
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