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干氧氧化法具备以下一系列的优点()。
多选题
干氧氧化法具备以下一系列的优点()。
A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强
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