单选题

干氧氧化法有一些优点,但同时它的缺点有()。

A. 生长出的二氧化硅中引入很多可动离子
B. 氧化的速度慢
C. 生长的二氧化硅缺陷多
D. 生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

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