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铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。
单选题
铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。
A. 等离子体刻蚀
B. 反应离子刻蚀
C. 湿法刻蚀
D. 溅射刻蚀
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